潔凈室的定義

潔凈室，又稱潔凈室或潔凈室。“潔凈室”是指為清除一定空間范圍內空氣中的顆粒、有害空氣、細菌等污染物，將室內溫度、潔凈度、室內壓力、氣流速度及分布、噪聲、振動、照明、靜電等控制在一定需求范圍內而專門設計的房間。也就是說，無論外界空氣條件如何變化，房間都能具有保持原有設定要求的潔凈度、溫度、濕度、壓力等性能的特性。潔凈室最重要的功能是控制產品(如硅片等)的潔凈度、溫度和濕度。)接觸，使產品能夠在一個良好的環境空間中生產制造，我們稱之為潔凈室。